সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের ব্যর্থতা সাধারণত দুটি বিভাগে বিভক্ত: একটি ডিভিই ভ্যাকুয়াম পাম্প ইউনিট এবং পরিমাপ সিস্টেমের ব্যর্থতা এবং অন্যটি ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের ফুটো।

প্রথম ধরনের ব্যর্থতার জন্য, DVE ভ্যাকুয়াম পাম্পের চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম পরীক্ষা করুন বা নিশ্চিত করতে ভ্যাকুয়াম গেজ প্রতিস্থাপন করুন। দ্বিতীয় ধরনের ব্যর্থতার জন্য, লিক সনাক্তকরণ প্রয়োজন। সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের লিক সনাক্তকরণে দুটি পদ্ধতি প্রায়শই ব্যবহৃত হয়: স্ট্যাটিক প্রেসার লিক ডিটেকশন এবং হে ভর স্পেকট্রোমেট্রি লিক ডিটেকশন।

স্ট্যাটিক প্রেসার লিক ডিটেকশন পদ্ধতি হল ভ্যাকুয়াম চেম্বারকে ডিভিই ভ্যাকুয়াম পাম্প গ্রুপ থেকে ভালভ দিয়ে আলাদা করা এবং এর অভ্যন্তরীণ চাপের পরিবর্তন পরিমাপ করা। ভর স্পেকট্রোমেট্রি লিক সনাক্তকরণ আরও জটিল। He ভর স্পেকট্রোমিটার লিক ডিটেক্টরকে সাধারণত সাইটে নিয়ে যেতে হয়। লিক ডিটেক্টরে একটি আণবিক পাম্প রয়েছে, তাই এটি যত্ন সহকারে পরিচালনা করুন। লিক ডিটেক্টরগুলির উচ্চ-সংবেদনশীলতা পদ্ধতি প্রায়শই লিক সনাক্ত করতে ব্যবহৃত হয়, যা আণবিক পাম্প রক্ষা করতে উপকারী। লিক ডিটেক্টরের সীমিত বায়ু নিষ্কাশন ক্ষমতা রয়েছে, তাই প্রায়শই সরঞ্জামগুলি নিজেই ভ্যাকুয়াম করা প্রয়োজন। ভ্যাকুয়াম 0.5~10Pa করতে হবে। লিক রেট স্থিতিশীল না হওয়া পর্যন্ত অপেক্ষা করুন বা লিক সনাক্তকরণ শুরু করার আগে স্থিতিশীল থেকে কমতে পরিবর্তন করুন।

লিক শনাক্তকরণের প্রক্রিয়ায়, আপনার যদি গেট ভালভ, রুক্ষ ভালভ, ব্লিড ভালভ ইত্যাদি চালানোর প্রয়োজন হয়, তাহলে আপনাকে অবশ্যই প্রথমে লিক ডিটেক্টরকে লিক ডিটেকশন থেকে বন্ধ করতে হবে এবং লিক ডিটেকশন পোর্টটি নির্বাচন করতে হবে যাতে ভেঙ্গে না যায়, যাতে প্রতিরোধ করা যায় ভ্যাকুয়াম চেম্বার থেকে হঠাৎ করে প্রচুর পরিমাণে গ্যাস প্রবেশ করে এবং পরিদর্শন লিক মিটারের ক্ষতি করে।

ভ্যাকুয়াম পাম্প করার পরে, গেট ভালভ এবং রুক্ষ পাম্পিং ভালভ বন্ধ করা উচিত যাতে ডাইভার্সন এড়ানো যায় যার ফলে ভ্যাকুয়াম লিক রেট পরিমাপের মান প্রকৃত মানের থেকে কম হয়। তাদের হস্তক্ষেপ এড়াতে সরঞ্জামগুলিতে আণবিক পাম্প এবং যান্ত্রিক পাম্প বন্ধ করা ভাল; আপনি যদি লিক সনাক্ত করতে চান তবে ঠান্ডা পাম্প সহ সরঞ্জামগুলি ঠান্ডা পাম্পটিকে সম্পূর্ণভাবে বন্ধ করতে হবে।

ডবল-সিলড স্ট্রাকচার প্রোডাক্টের ফুটো হওয়ার হার সনাক্ত করতে ভ্যাকুয়াম পদ্ধতি ব্যবহার করার সময়, ফুটো হওয়ার হার প্রায়শই ধীরে ধীরে বৃদ্ধি পায়, তাই লিক সনাক্তকরণ প্রক্রিয়ায় এই বিন্দুতে মনোযোগ দিন। উপরন্তু, He ব্যাগ ফুটো না করতে প্রয়োজন, এবং He ফ্লো রেট সাধারণত প্রয়োজন হয়. এটি লিকিং পয়েন্টের অবস্থান নিশ্চিত করার জন্য সহায়ক, তবে এমন বিশেষ ক্ষেত্রে রয়েছে যেখানে কিছু জায়গায় তাকে আরও স্প্রে করতে হবে যেখানে মিস সনাক্তকরণ এড়াতে তার পৌঁছানো সহজ নয়। লিক সনাক্তকরণের সময় ইনস্টল করা বেলোগুলি লিক-পরীক্ষিত হতে পারে না। লিক পাওয়া যাওয়ার পরে, একটি দ্বিতীয় নিশ্চিতকরণ সঞ্চালিত করা আবশ্যক, এবং লিক মেরামত করার পরে আবার লিক নিশ্চিত করতে হবে।

সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের ভ্যাকুয়াম অংশে অনেকগুলি অংশ রয়েছে। যদি একটি অংশে একটি বড় ফুটো হার থাকে, তাহলে উচ্চ ভ্যাকুয়ামকে পাম্প করাতে ব্যর্থ হওয়া সহজ। সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জামের কঠিন ভ্যাকুয়াম ব্যর্থতা বেশিরভাগই মাইক্রো-লিকেজের কারণে হয়, যার কারণে উচ্চ ভ্যাকুয়াম ব্যর্থ হয়। ভ্যাকুয়াম লিক সনাক্তকরণের অসুবিধা হল অপারেশনের বিশদ বিবরণে মনোযোগ দেওয়া এবং ধৈর্য ধরতে। এছাড়াও, অভ্যন্তরীণভাবে উত্পাদিত উচ্চ-ভ্যাকুয়াম টাইমপিসগুলি বেছে নেওয়ার জন্য অবশ্যই জায়গা থাকতে হবে, অন্যথায় পছন্দসই উচ্চ-শূন্য ডিগ্রী প্রদর্শিত হবে না।
bn.dvevacuum.com